(주)브이티에스
모델명 없음
4년
부대장비(부가장치) (주장비:고출력 전자빔 발생 시스템)
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2013-02-28
73,150,000원
원
- 전자빔 증착 공정 중에 기판을 히터로 가열하여 온도 컨트롤이 가능하게 하는 장치
- 기판기준 900℃, 발열부기준 1100℃ 이상.
- Main control system과 연결되어 S/W control 및 수동제어 가능
- 3D 형상 제품 균일 가열 설계
- 1~100kW 출력의 전자빔조건에서 편향 및 산란 방지 시스템
- 히터 재질 : 실리콘 카바이드가 코팅된 흑연 히터
- 히터 타입 : 자기장 감쇄가 가능하도록 설계된 타입
- 히터 크기 : 400~500mm
- 최대 가열 온도 : 1100℃
- 전극부 크기
1) Clamp 전극 : 50mm x 163mm x 25mm (전극 1조 x 3 set)
2) 연결전극 : 100mm x 4t (3 set)
- 열 격리 : 카본 펠트 사용
- 써모커플(T/C) 타입 : R 타입
- 컨트롤 유닛(Main control system과 연결, S/W 및 수동 control)
1) SCR 유닛
2) 트랜스포머 : 60kW
- 전자빔 편향 및 산란 방지용 전자기장 차단 모듈
=> 전극부 전체에 마그네틱 쉴드 장착
- 3D 형상 기판의 균일 가열을 위한 설계
=> 하프 터널 타입 히터 설계 적용
- 기판 기준 900도 이상 가열 및 고진공(10-4 torr) 유지
=> 고진공에 유리한 물질을 사용하여 설계 및 적용
고진공 인슐레이터 적용, 고진공 용 무산소동 전극 적용
- 기판 및 히팅 본체의 2중 온도 모니터링 기능
=> T/C를 2채널로 설계 및 적용
2차 전자에 의한 파손 방지 노이즈 필터 적용
- 히터크기 : 400~500mm
- 최대 가열 온도 : 섭씨 1,100도
- 전극부 크기
클램프 전극 : 50mm*163mm*25mm(전극 1조 * 3set)
- 열 격리 : 카본 펠트 사용