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모델명 없음
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-03-19
355,300,000원
원
-금속소재의 표면처리를 위한 In-line 장치임
-기판의 전처리를 위한 진공용기와 코팅을 위한 진공용기로 나누어져 있음
-코팅 가능한 물질로는 금속 및 합금이 가능함
-강판의 내식성 향상을 위한 표면처리 소재 및 공정을 개발하는데 활용되고 있음
-전처리와 코팅 공정을 수행할 수 있는 2개의 진공용기로 구성됨
-기본 진공도는 10-5 torr이하로 배기가 가능함
-전처리는 Ion Beam Source를 활용하며 코팅은 2개의 Sputter Source가 장착되어 있음
-강판의 내부식 향상을 위한 표면처리 소재 및 공정 개발 중
-대량 생산을 위한 연속 코팅 공정에 활용
-강판 표면의 산화막 제거 및 부식방지용 금속소재 코팅
-다층, 경사 구조의 다양한 금속소재를 코팅