정보없음
AVSF-131313-24H
주장비
기타
전기·전자장비 > 달리 분류되지 않는 전기 전자장비 >
2013-01-10
41,600,000원
원
품명: 고온 진공로
모델 AVSF-131313-24
최대사용온도: 2400도
열처리 분위기: 진공, 아르곤, 질소
진공도: 10^-2torr
냉각: 수냉
발열체: 고순도 흑연 소재
내부 단열재: 고순도 흑연 소재
전극: Cu
내부공간: 130x130x130mm
고온진공로는 초고순도 SiC 분말 합성용 열처리 장비로 내부 발열체 및 단열재 소재는 고순도의 흑연소재로 구성 되어있다. 고온진공로는 수냉방식으로 발열체 전극 및 챔버를 운전중에는 항시 냉각 해야 한다. 또한 진공펌프 및 가스 밸브의 개폐는 공기압 on/off 방식으로 일정압력의 공기압을 유지해야 한다.
고온진공로의 최대 사용 온도는 상온~2400도 까지이며 사용조건에 따라 질소가스, 아르곤가스 및 진공(10^-2 torr)사용이 가능하며, 가스 분위기 운전에서는 가스내 포함된 불순물이 고온진공로 내부로의 유입을 방지하기 위하여 고순도의 질소 및 아르곤 가스를 사용해야 한다.