X-ray photoelectron spectroscope (XPS)는 광전자 효과를 이용하여 원소종과 원소의 산화가 측정에 유용한 장비이며, 시료의 측정 범위가 표면에서 10nm 이내로 시료의 표면분석에 유용한 장비임.
본 장비는 이슬점이 -40도 이하로 관리되는 드라이룸에 설치되어 있어, 수분에 의한 시료의 오염없이 측정가능한 특징이 있음
- Spherical sector analyzer
- Operation mode : CAE (constant energy mode)
- Energy analysis range : 0~2000 eV
- Energy resolution : ≤ 0.5 eV FWHM
- Spatial resolution : ≤ 30 um
- Lens : multi-element input lenns
- Detector : 128 channel detector
- Anode : Al anode
- Type : microfocused monochromator
- Source cooling : water cooling
- Safety inter lock : high voltage, coolant, vacuum pressure & failure
- Material : UHV compatible chamber
- Ultimate vacuum : ≤ 5X10-9 mbar
- Pumping system : titanium sublimation pump
- Energy range : 100 ~ 4000 eV
- Max. beam current : ≥ 4uA
- Spot size : < 500 um (@3KeV, 3.5uA)
- Complete with gas admission system with gas manifold
리튬이차전지의 양극, 음극 극판 표면에 존재하는 미지의 화학종에대한 XPS 분석을 통해 이물질의 존재 형태와 유입 원인 등을 추적하는데 활용
이차전지의 저장환경, 사용환경에 등에 따라 열화된 이차전지 전극 표면의 화학적 상태변화와 불순물의 종류, 결합상태에 대한 분석에 활용하여 전지의 열화원인을 도출