프론틱스
NANO AIS
5년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 달리 분류되지 않는 물리적 측정장비 >
2013-01-10
199,500,000원
원
상기 물품은 필름, 나노구조체, MEMS, 바이오 소재, 나노 박막 등의 나노단위 제품의 잔류응력을 측정하기 위한 장비입니다. 본 장비의 경우 시편에 미세 압입을 하여 잔류응력의 유무 여부에 따라 얻어지는 하중-변위 선도의 차이를 분석하여제품의 압축 및 인장 잔류응력을 평가하는 원리로 이루어져 있습니다. 특히 이 장비의 경우 압입시험을 활용하여 잔류응력을 평가하기 때문에 시편의 형상의 제약이 없으며, 고저온의 환경의 구축이 용이하며, 접촉식 시험법이기 때문에 타 시험법에 비해 재현성도 높은 장비입니다. 온도 조절 모듈을 장착하게 되면 고온(~700)에서도 사용이 가능하여 그 수요 범위가 더윽 클 것으로 예상되며 관련 연구원들의 공동기기, 실험기기로 사용될 물품입니다.
최대하중: 200mN
하중 및 변위 분해능: 10nN / 0.04nm
최대이송거리: 24mm
하중 인가 속도: 0 ~ 2.5mm/sec
압입자: 구형압입자(Dia.1um) / Berkovich tip
부착도구: Automatic X-Y, Z axis stage, Plate?Clamping jig, Vision X2000
활용 기능: Nano liquid test, Nano high temperature test(25~700℃)(옵션)
소프트웨어 측정항목: 잔류응력, 인장물성, 경도, 탄성계수
필름, 나노 구조체, MEMS, 바이오 소재, 나노 박막의 잔류응력 측정
미세조직별(Dual phase steel의 각 phase 별) 강도 측정
반도체, Bond pad, PDP Glass, 휴대폰 액정 등의 잔류응력 및 기계적 특성 측정
최대하중 : 200mN
하중 및 변위 분해능 : 10 nN/0.04nm
압입자 : 구형아입자 (Dia.1micro)/ Berkovoch
측정 물성 : 잔류응력, 인장물성, 경도, 탄성계수