Suss Microtec
MA1006
9년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2014-07-30
213,967,390원
원
포토리소그래피(Photolithography)는 원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은 마스크(mask)라는 원판
에 빛을 쬐어 생기는 그림자를 웨이퍼 상에 전사시켜 복사하는 기술이며, 반도체의 제조 공정에서 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 형성하는 가장 중요한 공정으로, 이러한 포토리소그래피 공정에 사용되는 노광장비이다.
Output: 1000W maximum continous 150 volts DC open circuit 30 amperes active current limit
Size: 419 mm X 260 mm X 152 mm
Mask size: 5", 7"
Wafer size: 4", 6"