(주)제이몬
모델명 없음
12년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2014-05-27
73,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
1원
본 R2R 박막증착기는 화합물 박막태양전지(CuInGaSe2, Cu2ZnSn(Se,S)4 등) 제조 공정 교육용으로서 박막태양전지 인라인(in-line) 증발 증착 방식으로 유연 (flexible) 기판 (예, 스텐레스 스틸 및 플라스틱 roll) 위에 금속 및 반도체 박막을 형성하는 진공 장비임.
시설장비사양 :
10 cm 폭 기판 in-line 코팅 (이송장치 이용)
4-thermal evaporator (high temperature Cracker Se source)
진공용 이동 heater (650℃ max.)
고온 열처리장치