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- 진공증착기 (열화학기상 성장장비)
- i-Tube No. 1305-C-0304
- NTIS No NFEC-2014-11-193523
- 설치기관 순천대학교산학협력단
- 주소 전남 순천시 매곡동 순천대학교
- 담당자 이지면 (T. 061-750-3558 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
대청진공
-
모델 명
모델명 없음
내용연수10년
-
구분
주장비
용도시험
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
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취득일
2013-05-08
취득금액38,632,500원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료50,000원
장비설명
열 화학기상 증착 시스템 (Thermal Chemical Vapor Deposition System)
기체 상태로 공급된 원료를 CVD 장치 내에서 열에 의하여 여기, 분해, 해리 그리고 다른 화학 화합물과의 반응을 거쳐 고체상을 형성하는 반응물질로 변화되는 현상을 이용하여 증착 하는 장치
장비 구성 및 성능
진공 메인 챔버, 샘플 장입 챔버, 진공펌프, 가스 공급장치, 가스 조절장치, 챔버히팅장치 (max 1000oC)
온도조절 장치 등으로 구성되어 있음.
챔버 구격은 4인치 튜브형으로 Roll 타입은 10X10cm 기판 및 wafer 타입은 2인치 사이즈 2장을 로딩하여 프로세스 진행이 가능함.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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