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- Modified CZ 성장로
- i-Tube No. 1407-B-0098
- NTIS No NFEC-2014-11-192921
- 설치기관 (주)엔티에스
- 주소 충북 진천군 진천읍 장관리
- 담당자 유태연 (T. 032-814-2340 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
퀄리플로나라테크(주)
-
모델 명
모델명 없음
내용연수 -
구분
부대장비(부가장치) (주장비:)
용도 -
표준 분류
화합물 전처리·분석장비 > 분리정제장비 > 결정화장치
-
취득일
2014-07-11
취득금액44,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
기존 YAG 성장법인 CZ법은 고주파 유도가열 코일과 고가의 이리듐 도가니를 사용
하여 결정을 성장하기 때문에 4인치 이상의 이리듐 도가니를 사용하면, 생산원가가
상승하게 되는 반면, Modified-CZ법은 저가의 W/Mo 합금으로 제작된 도가니와 상대적으로 저 전력을 사용하는 저항가열 방식인 Graphite 히터를 사용함으로서 4인치 이상의 대구경의 YAG단결정 성장에 유리함.
장비 구성 및 성능
- 챔버 진공도 : > 10-6 Torr
- 승온 영역 : Max 2,200℃
- Seed 인상 속도 : 0.01 ~ 9.0mm/hr(저속), 0.1 ~ 120mm/hr(고속) , Double Clutch 이용 속도 전환
- Seed 회전속도 : 0.1 ~ 30 rpm(CW/CCW)
- C/L 속도 : 0.1 ~ 120mm/min
- Crucible 이동 Stroke : Max 150mm
- Power supply : 80kw급(SCR AC type)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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