케이맥
ST5030-SL
주장비
계측
화합물 전처리·분석장비 > 달리 분류되지 않는 화합물 전처리 분석장비 >
2014-09-02
66,000,000원
원
반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer)
두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능
Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능
다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier)
2D,3D Mapping data Display (point by point)
Semi-automatic mechanism stage control
측정 속도 우수, 측정 방법 간편
CCD Camera + Auto Focusing
-Thickness measurement range : 100A~35㎛
-Objective Lenses : 5X, 10X
-Auto Focusing Function & Auto X,Y Stage
-Sample Size:300x300mm(12“Wafer)
Data Acquisition System.(Computer) : Included
Data Analysis Software : Included
Accessory
-Operating manual CD, Spare Light source
M50x Lens
Reference Sample(Made in KMAC)