지니아텍
모델명 없음
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-01-25
74,000,000원
원
본 장비는 그래핀(Graphene)을 성장하기 위한 CVD이다. 고온(1,000도 이상)의 퍼니스에서 Ni, Cu, Pt 등의 다양한 촉매를 이용하여 Source가스와의 와 반응으로 그래핀(Graphene)을 성장 시키는 장비이다.
Cooling zone(Heating Line이 없는 곳)을 이용하여 빠른 속도로 냉각이 가능하다.
-Wafer Size : 2 inch
-Sample angle : 0 ~ 90°
-Temperature range : ~ 1,100 ℃
-Vacuum range : ~ 10-3 torr
-Gas : CH4, H2, N2, Ar