진공 성능

① 도달 진공도: 5 × 10-7 Torr 이하
② 배기속도: 8 × 10-5 Torr/ 30 Sec 이하
③ 진공 기밀도: 5.0 × 10-10 Torr L/Sec 이하

장비 세부 사양

① 챔버 및 제품 Loading Jig Part
- 챔버의 크기 Φ800 x 1950 H (mm)
- 제품투입 Jig 투입방법: 6 축
- 챔버의 재질: JIS SUS-304
- 챔버의 형식: 수직형, 1 Door

② 챔버에 부속된 부품
- 고진공 배기 port (GT-250x1 Flange)
- View Port
- Roughing 배기 Port (6inch VF Flange)
- Spare Port (GP-15,NW-25,NW-40)
- Ion Source Port : 3 Pos'
- Cathode Port : 1 Pos' - R/V, F/V, Gauge/V ③ 진공 챔버 운영용 컨트롤 시스템
- Control Unit: PLC/XGT
- Operation Panel: Graphic Color Tough Screen Display