에스테크
SS1
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2014-03-31
335,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
4,800,000원
단결정 성장로는 다결정 상태의 고체 폴리 실리콘을 용융시켜 단결정 상태의 고체 실리콘 주괴를 생산하는 장비로서 상변화를 통해 원자 배열을 제어하는 장치이다.
(8인치 단결정 잉곳 성장에 사용)
1) 일반 사양 1-1. Standard Crucible Size : 20inch, 22inch 1-2. Diameter of Growing Ingot : 6inch(150~164mm), 8inch(200~210mm) 1-3. Max. Charge Size(20inch Standard Crucible 기준) : ? 125kg 1-4. Max. Body Length(20inch Standard Crucible 기준) : φ164mm- ? 2.4M, φ204mm- ? 1.5M
2) 설비 기본사양 2-1. Heater : Carbon 저항 가열 2-2. Side heater : Max. DC50V/DC55V, Max. 2500A 2-3. Bottom heater : 출력 ? 50Kw 2-4. Crucible 행정거리 : 600~650mm (Overrun 포함)