나노뷰
SE MG-1000UV
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2014-05-16
58,300,000원
기관의뢰
고정형
시간별
14,300원
기능성 레이어 및 소재의 광학적 성질 및 두께를 비접촉 비파괴 비오염 신속하게 측정 분석 가능하며 단층 및 다층 레이어의 두께를 0.01 nm의 정확도로 측정 가능함.
측정광의 입사각을 일정 간격으로 용이하게 변경시킬 수 있으며 측정광의 파장은 250 nm ~ 840 nm로 UV 영역을 포함하고 있음.
기능성레이어 두께 측정기의 측정 준비 작업(광부품 위치를 확인)인 Calibration 작업이 15초 이내에 완료되어 빠른 시스템 동작이 가능함.
Wavelength 250 ~ 840nm or 1.5 ~ 5.0eV
- Measurement items Film thickness n k
- Thickness accuracy 0.01nm
- Thickness range 0.1nm ~ 3um (depends on sample)
- Thoughput 5~10 sec per point
- Angle of Incidence 45~90o with 5o step (manually variable of incidence)
- Sample size 5mm x 5mm ~ 200mm x 200mm
- Foot print 400mm(W) x 300mm(D) x 300mm(H)
- Weight 15kg (typical)