Roth & Rau
RR160PQE
5년
부대장비(부가장치) (주장비:롤투롤 기상반응 코팅장비)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2014-06-23
236,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
4,000,000원
-본 장비는 롤투롤 CVD 설비에 장착되어 코팅 성능을 향상시킬 수 있고, 다양한 코팅 성능 구현 및 장비의 안정성을 높일 수 있는 부속 장치임. (코팅속도 향상, 원료 개스 범위 확대)
- 장비구성 : 2대의 Linear Microwave Plasma source/ 3개의 gate valve / 3대의 MFC로 구성
- 코팅속도를 향상시키고, 다양한 개스 프리커서의 사용이 가능해지며, 설비의 수명을 연장할 수 있음.“