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- 롤투롤 기상반응 코팅장비
- i-Tube No. 1406-C-0082
- NTIS No NFEC-2014-07-190464
-
설치기관
화학소재솔루션센터
(한국화학연구원)
- 주소 대전 유성구 장동
- 담당자 조태연 (T. 042-860-7916 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Roth & Rau
-
모델 명
RollCoat500
내용연수5년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2014-06-23
취득금액1,890,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료4,000,000원
장비설명
“- 진공 환경 하에서 롤 상태의 필름 위에 특정한 파워소스에 의해 형성된 플라즈마와 전구체를 이용하여 화학반응을 통해 기재 위에 균일하게 코팅시키는 장비
- 프리커서의 선정에 의해 다양하고 균일한 코팅 박막을 롤투롤 방식으로 형성시킬 수 있음“
장비 구성 및 성능
“- 롤투롤 방식의 PE-CVD 코팅 시스템
- 기재폭 : 500mm
- 파워소스 : Microwave
- 기재종류 : PET, PEN, PC 필름 등
- 코어사이즈 : 3인치, 6인치 겸용
- 라인 스피드 : 0.1~10m/min
- 프리커서 : Gas type
- 진공도 : (초기) 5*10-6 mbar“
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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