sps
Plamax 200SE
주장비
생산
전기·전자장비 > 달리 분류되지 않는 전기 전자장비 >
2013-08-27
32,890,000원
원
대기압 플라즈마 시스템으로 여러가지 기재 즉, 폴리머필름 및 웨이퍼등에 기압 변화없이 간단히 표면처리에 사용할수 있으며 사용가능 가스로는 비활성 기체인 아르곤 및 에칭에 사용가능한 산소
플라즈마 헤드는 (대기압 글로우, 면적은 220mm*15mm, 갭 디스턴스 3mm-6m), 파워 (13.56MHz, 에어쿨링, 메칭타입은 디지털 콘트롤), MFC (디지털 콘드롤, 2채널로 200sccm)