Photonic Lattice
PA-110
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2014-02-20
80,000,000원
원
- 단결정 잉곳 대구경화에 따라 결정 성장 과정에 내부에 열응력이 축척되며, 축척된 응력에 의해 잉곳 내부 크랙 발생, 품질 저하 등의 많은 문제가 발생하며 기판 품질 향상을 위해 열응력을 줄일 수 있는 성장 공정 개발이 필요
- 이를 위해 정량적으로 기판의 열응력을 평가 장비 구축 필요.
- 광탄성 효과에 의해 기판 내부 응력에 비례하여 발생하는 복굴절 또는 위상차이의 양을 정량적으로 측정하여 기판의 응력을 평가하는 장치임
1) 센서: 표준형 편광 이미지 센서, 100만 화소
-Data size: Hor. 1120× Vert. 868 points
-Operating wavelength: 520nm
-Measurement range: 0nm~130nm
-Repeatability: σ<1nm
- Lens (PA-110-L): FUJINON HF12.5HA-1B (f=12.5mm)
- Power consumption AC100~240V , 3W
2) 광원
- Model: LED light source equipped with circular polarizer film)
- Power consumption AC100~240V , 17W for -L
3) 측정시야 사이즈: 14x18mm ~ 230x300mm
4) 본체 사이즈 및 중량: 450 x 538 x 916 mm, 24 kg