(주)하드램
HDP 710H I4H4 - M25
주장비
생산
전기·전자장비 > 달리 분류되지 않는 전기 전자장비 >
2014-06-01
330,000,000원
원
박막형 미세 패턴 형성을 위한 건식 레이저 에칭 설비, 레이저 다이렉트 패터닝(Laser Direct Patterning,LDP) 시스템. Laser와 Galvanometer Scan Head를 이용하여 Film 또는 Glass위에 증착된 Silver, Metal을 Direct로 미세 Patterning하는 장비
-스테이지이동방식
-헤드수 : 4
-중첩부 정밀도 : ±5마이크로미터
-월 capa(23") : 30,000 ceslls(15,000 sets)
-택타임(23") : 84초
-중첩부 정밀도 우수