Hitachi
SU8010
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2014-04-02
296,138,880원
원
SU-8010장비는 낮은 가속전압에서 패턴의 관찰이 용이함.
따라서, 기존의 Pt 또는 Au의 금속막코팅을 통한 일반적인 시료의 전처리 없이도 패턴의 관찰이 용이함.
본, 장비를 통한 DSA 패턴 뿐만 아니라 다른 용도의 극한의 해상력을 요구하는 용도에 사용이 가능함.
FE-Gun Thermal 방식으로 항상 Tip을 가열 상태로 유지(Tip 수명 단축)
항상 고온 상태로 전자를 방출하므로 Tip 오염 없이 전자 빔이 일정해 성분 분석에 유리
Stage 5축 Motot 구동 방식으로 운용
CD,angle측정, 데이터 정보 입력 가능
EDS detector가 부착되어 있어 성분 분석 가능