Nanofilm
LFSI-6X
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2014-04-30
900,821,424원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
3,000,000원
- X bend FCVA (Filter Cathode Vacuum Arc) 방식으로 증착 시 탄소 입자 최소화에 따른sp3 성분이 70% 이상 포함된 DLC 코팅막 제조
- 박막 균일도 (Uniformity : ± 5%) 재현성 (Repeatability : ± 10%)
- 저온 (< 80℃) 공정이 가능하여 박막 손상 최소화
- 표면세정 : r.f. Ion Gun (End Hall Type)
- 코팅방식 : FCVA
- Filter : X bend
- 유효코팅 범위 : 152 mm
- 진공부 : 로터리펌프, 터보펌프