Jeol
IB-09020CP
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 달리 분류되지 않는 화합물 전처리 분석장비 >
2014-01-29
118,215,900원
원
절단면연말기 또는 이온밀링장치는 시료 표면에 Ar 이온빔을 이용하여 표면 관찰 및 표면 분석의 전처를 수행할 수 있으며, 전극 및 입자의 고속 절단이 가능하여 절단면 관찰 및 구조 분석에 활용됨. 또한 8KV에 이르는 가속화된 전자빔을 발생시켜 빠른 입자 표면 처리 및 절단이 가능함.
시료 절단을 위한 방전전압은 약 1.5KV 이며, 가속전압은 최대 6KV까지 사용할 수 있음. 또한 방전전류는 최대 560㎂를 이용하여, 이온빔의 직경은 약 500㎛ 임. 밀링 속도는 Si을 기본으로 했을 때 약 300㎛/hr 임. 이와 더불어 터치스크린이 장착되어 운전상황을 한눈에 파악할 수 있음