(주)에프테크
Gas 흡착탑 시스템
5년
부대장비(부가장치) (주장비:롤투롤 기상반응 코팅장비)
시험
기계가공·시험장비 > >
2014-03-27
85,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
4,000,000원
▶ Gas Cabinet, Dry Scrubber, PECVD Cabinet 에서 Gas Leak시 제거할 수 있는 Emergency
급 배기 Gas 흡착탑 System 구축
▶ PECVD 배출 Gas 제거용 2차 흡착탑 System 구축 (PECVD→Dry Scrubber→2차 흡착탑)
▶ Gas Cabinet Cylinder 교체 시 Gas Vent용 흡착탑 System 구축
1. Emergency 급 배기 운전
① 상시 : Gas Cabinet, Dry Scrubber 및 PECVD Cabinet에 Gas Leak가 없을시
흡착탑 배기 Fan이 가동된 상태에서 흡착탑 By-Pass Duct를 통해서 Gas Cabinet, Dry Scrubber
및 PECVD Cabinet 내부가 음압을 유지하도록 외부로 배기
( Auto Valve-①,② : Close, Auto Valve-③ : Open )
② 비상시 : Gas Cabinet, Dry Scrubber 및 PECVD Cabinet에 Gas Leak가 있을시
Gas Cabinet, Dry Scrubber 및 PECVD Cabinet 내부에서 Gas가 Leak 되어 Gas Detector 에서
감지되면 자동 Valve가 흡착탑 방향 으로 자동 전환되어 흡착탑 에서 Leak Gas를 제거 함.
( Auto Valve-①,② : Open, Auto Valve-③ : Close )
☞ 참조 : 상시 때 Gas 흡착탑을 By-Pass 운전하는 목적은 다량의 Air 혼입에 의한 Gas 흡착제가
산화되어 흡착성능이 저하되는 것을 막기 위함 임.
2. 공정 배기 운전
PECVD 운전 중 배출되는 폐 Gas를 1차로 Dry Scrubber 에서 제거 후 Gas 흡착탑으로 보내
2차 처리 함. 1차 Dry Scrubber 흡착제 파과 및 Trouble 발생시 2차 흡착탑으로 대체 운전.
3. Gas Cabinet Cylinder 교체시 Vent Gas 배기 운전
Gas Cabinet Gas Cylinder 교체시 배관내에 차있는 Gas를 N2 Gas로 Gas 흡착탑 으로 밀어내서
제거 함.