Cs Clean Systems
Cleansorb scrubber
5년
부대장비(부가장치) (주장비:롤투롤 기상반응 코팅장비)
시험
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2014-02-10
78,700,000원
기관의뢰
고정형
건별
4,000,000원
“이 배기가스 처리 장치는 주장치인 PE-CVD와 연계되어 설치되는 부속 설비로서 설치에 차지하는 공간이 컴팩트해야 하며 화학흡착(chemisorption)으로 처리합니다.
공정 배기 가스 중에 일반적으로 가연성으로 처리할 수 있는 SiH4, 습식으로 처리해야 하는 NH3, 분해 반응으로 처리하는 NF3 등을 하나의 장치에서 흡착 처리할 수 있습니다.“
흡착층의 컬럼, 압력 모니터링, 가스센서, 콘트롤 박스, 콤퓨터 인터페이스, 퍼지용 질소 공급, 밸브 작동용 압축공기 공급 등으로 구성됩니다. 공정의 배기가스는 흡착층을 통과하여 처리된 클린 가스만이 대기로 방출됩니다.