알파플러스
AP-ECE150-CIGS
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-02-26
134,200,000원
원
본 과제에서 활용하고자 하는 와이드갭 증착용 진공증착장비를 이용한 공정 개발은 국내의 경우 초기 단계에 있고, 고효율 박막 태양전지 제조 공정을 위해 전세계 유수의 연구 기관에서 활발한 연구가 진행중이다. 따라서 CIGS 박막 태양전지의 흡수층의 최적화를 통하여 우수한 결과가 도출될 경우 고효율 태양전지 양산화를 선도함은 물론 저가화에 중추적인 역할을 수행 가능함.
본 장비는 프로세스 챔버(Process chamber)와 로드락 챔버(Loadlock chamber)로 구성된 챔버부와 제어부(Control panel)로 구성
- ① Substrate size : 100×100mm2, ② Film thickness : 수 ㎛, ③ Substrate type : Soda-lime glass, SUS foil, etc., ④ Film uniformity : ±5%, ⑤ Deposition materials : CIGS (Cu, In, Ga, Se) 및 Ag, Al, Zn, Sn, S등의 다양한 원소를 포함한 와이드 밴드갭 소재, ⑥ Deposition : Effusion Cell 종류에 의해 증착공정이 진행되는 동안 기판 가열, ⑦ Control : PC를 기반으로한 PLC