조인솔루션
COREVAC 550V
부대장비(부가장치) (주장비:)
기타
물리적측정장비 > 힘/토크/압력/진공측정장비 > 달리 분류되지 않는 힘/토크/압력/진공측정장비
공동활용서비스
2016-10-19
45,454,546원
원
진공 챔버의 초고진공 유지 - 설계 제작되는 진공 챔버의 10-6torr 이상을 유지하기 위한 진공 펌프
HUD용 고반사 박막 제조는 본 개발의 핵심 기술로서 고품위 박막 제조를 위해서는 진공 챔버의 진공도를 10-6torr 이상 까지 유지시켜 주어야 함
진공 챔버의 초고진공 유지 - 설계 제작되는 진공 챔버의 10-6torr 이상을 유지하기 위한 진공 펌프
○ 최종 도달 진공도 : 1 x 10-8 torr
○ Pumping Speed : 40,000 l/sec (H2O 기준)
○ Cooling Time : 130min.
○ Weight : 110kg
○ Flange Option : JIS 규격