거승테크
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공동활용서비스
2016-09-28
49,090,900원
원
○ Gate Valve는 진공 시스템 구축에 필수적으로 사용되는 부품으로서 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 장착되어 Gate 역할을 수행함
○ 초고진공 펌프는 작동 영역대가 10-3torr 이상이므로 760torr에서 10-3torr 까지는 진공 챔버로부터 차단되어 있어야 함. 10-3torr의 작동 진공도에 도달되면 그 이후 차단 밸브를 열어서 초고진공 상태를 유지하는 역할을 함
○ Gate Valve 2EA
○ 진공 차단 Leak Rate : 1 x 10-10 torr l/sec
○ 작동 방식 : 공압 작동식
○ Size : 외경 (24“), 내경 (22”)
○ 진공 Sealing Materials : Viton O-ring
○ Flange Type : ISO
○ 최대 사용 온도 : 200℃