○ 자동/수동 진공 제어 Mode
○ 박막 두께 제어 및 증착 Rate 제어
○ 작동 부품의 Inter-lock 제어
○ 공정 온도 제어
○ 전처리 Unit 제어
○ 비상 시 모든 부품 안전 제어
○ 입력전압 : 220 v
○ 소요전력 : 125 A *220 v
○ RACK SIZE : 19"*2000 mm
○ touch screen : 15"
○ screen mode : 5set
○ Heater 용량 : 3 kw* 3ea
○ 온도 controller: PID제어
○ PLC : LS * GT