Edwards
IF 1800
부대장비(부가장치) (주장비:)
기타
물리적측정장비 > 힘/토크/압력/진공측정장비 > 달리 분류되지 않는 힘/토크/압력/진공측정장비
공동활용서비스
2016-10-14
40,500,000원
원
Dry Pump 는 진공 챔버의 진공도를 760torr 부터 10-3torr 까지 유지하기 위한 장치로서 본 사업에서 계획하고 있는 HUD용 고반사 박막을 형성시키기 위해 필요한 장치임
○ 최종 도달 진공도 : 1 x 10-3 torr
○ Pumping Speed : 30,000 l/min (Air 기준)
○ Cooling Water 공급량 : 15 l/min
○ Weight : 270kg
○ Flange Option : JIS 규격