Carl Zeiss
GeminiSEM 300
5년
부대장비(부가장치) (주장비:초고분해능 주사전자현미경)
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비
2016-02-03
96,000,000원
없음
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직접사용
고정형
기타
25,000원
주사전자현미경(SEM)에 부착하여 전자빔에서 발생된 전자를 재료표면에 조사하여 얻어진 특성 X-선만 정밀한 검출기로 검출하여 전자빔의 에너지영역대별로 화면에 나타내어 그 물질의 고유 특성을 파악함으로써 구성성분 및 분포를 확인할 수 있음.
일반적인 EDS와는 달리 Pole piece와 sample 사이에 위치하여 수평으로 장착되며 sample에서 나오는 모든 X-선을 포집하기 때문에 High solid angle이 가능하고 따라서 High count rate를 얻어낼 수 있다.
또한 낮은 Beam currents에서도 High count rate가 가능하므로 손상이 쉬운 Biological, Semiconductor sample의 분석이 용이하다.
* 구성
1. Dual SDD Detectors
2. Signal Processing Unit
3. PC and 24“ TFT LCD Monitor
4. Software
* 성능
특히 2개의 검출기를 사용하여 분석 시간 단축과 다양한 시료의 분석이 가능해질 것임. 또한 2개의 검출기 중 QUAD Detector는 기존 EDS와는 달리 4개의 Detector를 이용하여 X0ray signal 수집률이 뛰어나 측정이 어려운 시료의 분석이 가능해지며 주로 낮은 가속 전압(3~5kV)을 이용하여 측정함으로 나노 단위 재료의 분석이 가능함.