아이티에스
모델명 없음
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2015-12-15
234,500,000원
원
- 장비설명
□ 미세 마스크 패턴을 이용한 metal 전극 증착이 가능하도록 구성된 장비
□ 사진인쇄법이 아닌 마스크 방법으로 미세패턴 증착이 가능하도록 구성된 장비
□ 패턴이 있는 세라믹위에 전극패턴을 증착하기위한 연속 공정이 가능하도록 구성된 장비
□ 진공내에서 기능성세라믹 마스크와 전극용 마스크를 교체 증착할 수 있도록 구성된 장비
□ Mask를 이용한 기능성 세라믹과 전극용 metal증착용
- 구성 및 성능
□ Two 챔버로 구성된 시스템
□ 기능성세라믹 및 Metal 전극 패턴을 연속공정으로 증착가능하도록 구성
□ 진공을 purge하지 않고 기능성세라믹Mask와 metal 전극 mask를 교체가능하도록 구성
□ Full-automatic sample loading & unloading system
□ 공정 recipe를 이용한 전자동 증착공정제어용 프로그램