Jeol

없음

1. 고분해능 전자빔을 이용한 반도체·디스플레이 소재 및 소자의 표면 형상과 미세구조 관찰
2. 이차전자 및 후방산란전자 영상을 통한 표면 형상 및 조성 대비 관찰
3. 에너지분산형 X선 분광법(EDS)을 이용한 구성 원소의 정성·정량 분석
4. 원소별 선 분석 및 매핑을 통한 시료 내 원소 분포 확인
5. 시료 관찰 중 실시간 EDS 분석 및 영상·분석 데이터 통합 관리

1. 모델명: JEOL JSM-IT710HR/LA
2. 전자총: in-lens Schottky 전계방출형 전자총(FEG)
3. 분해능: 고진공 이차전자 영상 기준 1.0 nm(20 kV), 3.0 nm(1 kV)
4. 가속전압: 0.5~30 kV
5. 배율: 5~600,000배
6. 검출기: 이차전자 검출기 및 후방산란전자 검출기
7. 진공 모드: 고진공·저진공 모드 전환, 저진공 압력 범위 10~150 Pa
8. 시료 스테이지: 5축 전동 구동, 최대 직경 200 mm 시료 장착 가능
9. EDS 검출기: 실리콘 드리프트 검출기(SDD), 검출면적 30 mm², 에너지 분해능 129 eV(Mn Kα)
10. 분석 소프트웨어: 원소 정성·정량 분석, 선 분석, 원소 매핑 및 실시간 분석 지원
11. 부속장치: 시료 위치 확인용 컬러 이미지 내비게이션, 챔버 내부 관찰 카메라, 제진 시스템 및 시료 코팅 장치