i-Tube

장비정보

제작사
KEYENCE
모델 명
VK-X3000

내용연수
11년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 공초점현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-08-13

취득금액
156,200,000원
인증정보
없음
기능
- 레이저 공초점, 포커스 바리에이션 및 광학 간섭 방식을 이용하여 시료 표면의 미세 형상과 3차원 구조를 비접촉 방식으로 측정하는 장비이다.
- 시료 표면의 높이 정보를 기반으로 단차, 표면 거칠기, 프로파일 및 3차원 형상 등의 정량 분석이 가능하다.
- 다양한 배율에서 2D 및 3D 표면 이미지를 획득하여 미세 영역부터 넓은 영역까지 표면 형상을 관찰할 수 있다.
- 측정 데이터를 기반으로 표면의 면적, 체적 및 형상 특성 등을 정량적으로 평가할 수 있다.
장비 상세설명
- 레이저 공초점 및 광학 간섭 방식을 이용하여 시료 표면의 미세 형상과 3차원 구조를 비접촉 방식으로 측정
- 시료 표면의 높이 정보를 기반으로 단차, 표면 거칠기, 프로파일 및 3차원 형상 등의 정량 분석
- 다양한 배율에서 2D/3D 표면 이미지를 획득하여 미세 영역부터 넓은 영역까지 표면 형상 관찰 및 분석
- 측정 데이터를 기반으로 표면의 면적, 체적 및 형상 특성 등의 정량적 평가

이용안내

사용형태
기관의뢰 직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 1원

장비설명

- 레이저 공초점 및 포커스 바리에이 방식을 이용하여 시료 표면을 비접촉식으로 측정하고, 표면의 2D/3D 형상 정보를 획득하여 분석하는 장비
- 미세한 표면 형상, 높이, 단차 및 거칠기 등을 비파괴·비접촉 방식으로 정량 측정하며, 다양한 배율의 대물렌즈를 이용하여 미세 영역부터 넓은 영역까지 관찰 가능

장비 구성 및 성능

- 장비 모델: KEYENCE VK-X3000 Series (측정 헤드: VK-X3050)
- 장착 대물렌즈: 5×, 10×, 20×, 50×
- 측정 방식: 레이저 공초점(Confocal), 포커스 바리에이션(Focus Variation)
- 최고 레이저 측정 속도: 면 125 Hz, 선 7,900 Hz
- 레이저 공초점 높이 표시 분해능: 1 nm
- 광학 관찰 화소 수: 560만 화소
- 레이저 광원: 반도체 레이저 661 nm, 최대 출력 1.0 mW
- XY 스테이지 전동 가동 범위: 100 × 100 mm
- 측정 및 분석 소프트웨어: VK-X3000 관찰 어플리케이션 (VK-A3E)

e-Tube 로그인

장비 매뉴얼