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장비정보

제작사
Gasera 외 다수
모델 명
Gasera one pulse 외 다수

내용연수
10년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-06-22

취득금액
374,000,000원
인증정보
없음
기능
반도체 장비 공정가스 결합부의 갑작스러운 분리, 파단과 같은 공정화학물질의 누출 상황에서도 작업자 호흡영역과 점화원에서의 중독, 화재가 발생하지 않도록 배기시스템을 통해 안전 기준농도를 준수하는지 검증.
장비 상세설명
- 트레이서 가스모니터(Tracer gas monitor) 는 적외선 분광법을 활용하여 SF6 가스 농도를 분석가능한 장비로, (6 ppb to 50 ppm)의 농도를 측정할 수 있는 분해능을 보유하고 있어 유해화학물질 누출 모의시험과정에서 장비 외부의 SF6 가스를 정밀하게 측정할 수 있으며, 현장 배기성능 적합 검증 시험이 가능함.
- 이중가스모니터(Dual gas monitor) 는 적외선 분광법을 활용하여 SF6 가스 농도를 분석가능한 장비로, (1 ppm to 1,000 ppm)의 농도를 측정할 수 있는 분해능을 보유하고 있어 유해화학물질 누출 모의시험과정에서 장비 점화원 위치의 SF6 가스를 정밀하게 측정할 수 있으며, 현장 배기성능 적합 검증 시험이 가능함.
- 유량계는 추적가스(SF6)의 방출량을 모니터링하기 위한 장비로서, 추적가스 시험과정에서 방류하는 추적가스(SF6)의 양을 모니터링이 가능하며, 니들밸브와 함께 사용함으로서 사용되는 공정화학물질의 사용, 발생량에 대응하여 방출 시험이 가능함.
- 풍속차압계는 SEMI S6 추적가스 시험 진행 후 적합함이 검증된 공정화학물질 제어함에 대하여 추적시험이 적합한 조건을 측정하기 위한 장비로서, 반도체 제조장비의 배기 덕트에서 흐르는 유량, 공정화학물질 제어함과 외부의 차압을 측정하여 배기시스템의 안전함을 보장하는 최소 유량, 차압 측정이 가능함.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
이동형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 219,520원

장비설명

본 장비는 반도체 제조장비에서 유출사고가 발생하였을 때, 배기시스템을 통하여 안전한 상황을 유지하는지 평가하는 장비로 추적가스(SF6)를 통하여 유해 화학 물질의 유출상황을 모의 시험하는 장비이며, 특히, 반도체 장비의 경우 유해화학물질의 허용 농도가 낮은 물질들이 다수 사용되며, 일반 시험환경에서 존재하지 않고 독성이 없어 추적가스로 활용되는 SF6 가스의 농도를 정밀 측정이 가능한 장비입니다.

장비 구성 및 성능

1. Dual Gas Monitoring System
1) SF6 Measurement range 6 ppb ~ 50 ppm
2)Accuracy : ±3%
3)Multipoint Sampling function (Inc.Module)

2. Tracer Gas Monitoring System
1)SF6 Measurement range 1 ppm ~ 1000 ppm
2)Accuracy : ±3%

3. Flow Measurement Module
1) Gas mas flow meter
2) Liquid mass flow meter
3) velocity meter
4. Portable gas detector
1) H2S, CO, O2, LFL measurement.

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