HPPI
TLP-12010C
10년
주장비
분석
전기/전자장비 > 분석장비 > 달리 분류되지 않는 분석장비
공동활용서비스
2026-05-28
1,204,850,800원
없음
TLP 정전기 시험 시스템은 반도체 및 전자부품의 정전기 방전(ESD) 내성을 평가하고, ESD 보호회로 설계를 최적화하기 위한 장비이다. 고전압·고전류 펄스를 인가하여 소자의 동적 전압-전류 특성과 파괴 특성을 정량적으로 분석하는 데 활용된다.
지원 파형 : TLP, VF-TLP, HMM, 구형파(Rectangular Waveform)
상승시간(Rise Time): 0.1, 0.3, 0.6, 1, 5, 10 ns, 0.1 ns 조건에서는 최대 40 A까지 지원
펄스 폭(Pulse Width): 1, 2.5, 5, 10, 25, 50, 75, 100 ns, 출력 전압 범위
펄스 폭 100 ns 조건: −6 kV ~ +6 kV 선형 출력
펄스 폭 10 ns 미만 조건: −4 kV ~ +4 kV 선형 출력
최소 전압 설정 간격 : 0.1 V
임피던스 : 50 Ω 임피던스 정합
출력 파형 :구형파(Rectangular Waveform)
외부 케이블 및 전류 출력 : 40 A, 100 ns 조건 지원, 최대 120 A, 반복 주파수 10 Hz 지원
HMM 시험 전압 : 최대 32 kV
TLP(Transmission Line Pulse) 정전기 시험장비는 반도체 및 전자부품에 고전압·고전류의 단펄스를 인가하여 정전기 방전(ESD)과 전기적 과부하(EOS)에 대한 내성을 평가하는 장비이다. 실제 과도 전기 스트레스와 유사한 조건에서 소자의 동적 전압·전류 응답과 파괴 거동을 측정할 수 있어, 정적 측정만으로 확인하기 어려운 고전압·고전류 영역의 특성을 정량적으로 분석하는 데 활용된다.
TLP 시험을 통해 트리거 전압, 클램핑 전압, 전류 임계점, 누설전류 변화, 2차 항복전류 및 전력 소산 특성 등을 평가할 수 있다. 측정 결과는 ESD 보호소자의 정격 선정, 보호회로 설계 최적화, 공정 및 소자 구조 비교, 고장 원인 분석과 신뢰성 검증에 활용된다.
또한 펄스 상승시간과 펄스 폭을 가변 제어할 수 있어 TLP, VF-TLP 등 다양한 과도 스트레스 조건을 구현하고, HBM·CDM 관련 소자 응답을 비교·분석할 수 있다. IEC 60060-1, IEC 61180-2, IEC 60747 계열 및 MIL-STD-883 Method 3015 관련 검증 및 평가가 가능한 장비임
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 300,000원
TLP(Transmission Line Pulse) 정전기 시험장비는 반도체 및 전자부품에 고전압·고전류의 단펄스를 인가하여 정전기 방전(ESD)과 전기적 과부하(EOS)에 대한 내성을 평가하는 장비이다. 실제 과도 전기 스트레스와 유사한 조건에서 소자의 전압·전류 응답과 파괴 거동을 측정함으로써, 일반적인 정적 측정으로 확인하기 어려운 고전압·고전류 영역의 동적 특성을 정량적으로 분석한다.
본 장비는 소자의 트리거 전압, 클램핑 전압, 전류 임계점, 누설전류 변화, 2차 항복 특성 및 전력 소산 성능 등을 측정하는 기능을 수행한다. 또한 펄스 상승시간과 펄스 폭을 가변 제어하여 TLP, VF-TLP 및 다양한 과도 스트레스 조건을 구현할 수 있으며, 소자의 시간 영역별 응답과 보호 성능을 비교·평가할 수 있다.
시험 결과는 ESD 보호소자의 정격 선정, 보호회로 설계 최적화, 반도체 공정 및 소자 구조 비교, 취약 구간 분석, 고장 원인 규명과 신뢰성 검증에 활용된다. 이를 통해 제품 개발 단계에서 정전기 보호 성능을 사전에 확인하고, 반도체 및 전자부품의 내구성과 신뢰성을 향상시키는 역할을 한다.
펄스 발생기 : TLP·VF-TLP·HMM 파형 지원, 상승시간 0.1·0.3·0.6·1·5·10 ns, 펄스 폭 1·2.5·5·10·25·50·75·100 ns, 최대 출력 ±6 kV, 최대 전류 120 A, 50 Ω 임피던스 정합, 구형파 출력, HMM 최대 출력 32 kV
펄스 확장기 : 펄스 폭 100∼1,600 ns, 6종 펄스 조건 지원, 최대 출력 전류 120 A
8 GHz급 오실로스코프 : 4채널, 대역폭 8 GHz 이상
200 MHz급 오실로스코프 : 2채널, 대역폭 200 MHz 이상
소스 측정 장치 : 2채널, 채널당 200 V·1 A 이상, 전압 또는 전류 인가와 소자 응답 동시 측정, 응답시간 0.2∼0.5초 이내
프로브 스테이션 : 최대 8인치 웨이퍼 지원, 저잡음 전류 측정 약 10 fA, 현미경 최대 총배율 300배, 4K 정밀 CCD 카메라, 포지셔너 5개, 방진 테이블 포함, 시료 이탈 방지 및 외부 조작 지원
시스템 종합 성능 : 반도체 칩 내부 정전기 보호회로의 전류-전압 특성 측정, 다양한 정전기 방전 조건의 동작 특성 평가, 보호 메커니즘·설계 허용범위·동작 마진 분석, 1.2/50 μs 과전압 임펄스 시험 지원, 최대 출력 22.5 kV, 과도파형·직류·전류-전압 데이터 실시간 동시 표시