(주)신안시스템

없음

-. System Description : Evaporation & encapsulation system for fabricating Micro OLED on 8 inch size wafer
-. System Operation : Evaporation Process :1 Glass automatic operationEncapsulation Process : Semi-Automatic operation
-. Display Resolution : 3,000ppi 이상 (Maker사에서 Mask 제작 및 Sample 제작 후 검수)
-. Wafer Size : 8”Wafer (Ø200mm±0.2mm Wafer)
-. Chamber Configuration : TM, LL/Stock, PT, 3 OC, 1 MC, Glove Box(3 glove 이상)
-. Robot Accuracy : ≤± 500 ㎛
-. Align Accuracy : Spec. ≤±1.0㎛ (Vision Align) : Organic 3 chamber≤±10 ㎛ (Vision Align): Metal 1 chamber

- Organic chamber 3식
∙ 기판 loading 크기 8인치 이상
∙ Dry pump와 연결
∙ Chamber 1식당 cryo pump 1식
∙ Chamber 1식당 증착 source 8개 이상
∙ Aligner
∙ 증착 uniformity 3% 이내

- Metal chamber 1식
∙ 기판 loading 크기 8인치 이상
∙ Dry pump와 연결
∙ Cryo pump 1식
∙ Thickness controller 1식
∙ 증착 source 4개 이상
∙ Aligner
∙ 증착 uniformity 5% 이내

- PT(plasma treatment) chamber 1식
∙ Dry pump와 연결
∙ Turbo molecular pump (TMP) 1식
∙ 가스 : N2, O2, Ar

- LL(load lock) 1식
∙ Dry pump와 연결
∙ Cryo pump 1식
∙ Cassette : Substrate holder slot 4개 이상, Mask holder slot 4개 이상

- Glove box 1식
∙ Glove 3수 이상 (양수용 glove)
∙ Purifier 포함
∙ Antechamber 1개 및 mini antechamber 1개
∙ Glass encapsulation system 포함