Protochips

없음

1. 실시간 물리적 드리프트 보정
- Stage shift, beam shift, digital correction 방식 지원
- TEM 관찰 중 시료 위치 변화 보정
- 배율·고해상도 분석 시 이미지 흔들림 최소화
2. 실시간 시료 위치 추적
- 머신비전 기반으로 시료의 위치 변화를 자동 추적
- 장시간 분석 또는 in-situ 실험 중 관찰 대상 이탈 방지
3. 초점 보정 및 Focus assistance
- 실시간 포커싱 최적화 지원
- 이미지 품질 향상 및 분석 재현성 확보
4. TEM 분석 메타데이터 자동 수집
- TEM 조건, 카메라 조건, in-situ 실험 조건 등 주요 실험 정보를 자동 저장
- 분석 결과와 실험 조건을 함께 기록하여 데이터 신뢰성 향상
5. 메타데이터 동기화
- 이미지 데이터와 장비 운전 조건을 시간축 기준으로 자동 동기화
- Dose rate, cumulative dose, mean, median, maximum 등 통계값 연계 가능
6. 전자선량 측정 및 관리
- 전자빔의 dose rate와 cumulative dose 측정
- 실험 중 시료가 받은 전자선량을 추적하여 beam damage 최소화
7. 전자빔 조사량 시각화
- 누적 전자선량을 heat map 형태로 표시
- 이미지 내 위치별 전자빔 노출 정도 확인 가능
8. Beam current 및 beam area 측정
- Faraday cup holder와 picoammeter를 활용한 전자빔 전류 측정
- 전자선량 보정 및 정량 분석에 활용
9. In-situ holder 제어 지원
- Protochips in-situ 시스템과 연계하여 실험 환경 제어 지원
- 온도, 액체, 가스 환경 변화 중에도 데이터 동기화 가능
10. 이미지 안정화
- TEM, 검출기, 시료 홀더 간 데이터를 연결하여 영상 안정성 향상
- 외부 진동, 미세 위치 변화 등에 따른 분석 오차 저감

본 장비는 기구축 투과전자현미경(TEM)에 연계하여 TEM 분석의 정밀성, 재현성 및 데이터 관리 효율을 향상시키기 위한 TEM 데이터 측정 및 관리 최적화 시스템이다. 머신비전 기반으로 시료 위치 변화와 이미지 흔들림을 실시간 추적하고, stage shift, beam shift, digital correction 방식의 물리적 드리프트 보정을 수행하여 고해상도 이미지를 안정적으로 확보할 수 있다. 또한 초점 보정 기능을 통해 장시간 분석 및 in-situ 실험 중에도 이미지 품질을 유지한다. TEM 운전 조건, 카메라 조건, 전자선량, 시간 정보 등 주요 메타데이터를 이미지와 자동 동기화·저장하여 분석 결과의 추적성과 재현성을 높인다. AXON Dose 모듈은 전자빔의 dose rate와 누적 선량을 정량적으로 관리하고 heat map으로 시각화하여 OLED 소재, 코팅·필름 등 전자빔 민감 시료의 손상을 최소화한다. AXON Studio를 통해 대용량 TEM 데이터의 저장, 필터링, 분석, 공유 및 동영상 출력이 가능하여 공동연구와 산업지원 분석 서비스의 효율성을 높일 수 있다.