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없음

DGS 반도체 검사기는 최대 80개의 DUT 수량을 지원하며, -40 °C ~ +180 °C의 온도 범위와 10 ~ 98% RH의 습도 범위에서 동작하는 장비이다. 전기적 측정 측면에서는 15V DC ~ 1500VDC의 전압 측정 범위와 최대 0.30 A 및 0 ~ 1 mA의 전류 측정 범위를 제공하며, 전류 측정 정밀도는 해상도 75 pA, 정확도 ±400 nA이다. 또한 -5V~20 VDC의 게이트 전압 범위(해상도 20 mV, 정확도 ±200 mV)와 ±10 mA의 게이트 전류 범위(해상도 500 nA, 정확도 ±10 μA)를 지원하는 장비이다. 채널 간 절연 내압은 2 kV에 달하며, 스트레스 단계(65mA ±20%)와 리드아웃 단계(650 μA ±20%)에서 DUT를 자동 차단하는 과전류 보호 기능이 탑재되어 있다. 아울러 테스트 챔버 외부 안전 잠금장치와의 소프트웨어 연동 및 고전압(HV) 플러그 연결부의 전압 감시 기능을 갖춘 안전 장비이다.

DGS 반도체 검사기는 최대 80개의 DUT 수량을 지원하며, 20 °C ~ 200 °C 범위의 핫/콜드 플레이트를 통해 시험 온도를 안정적으로 지원하는 장비이다. GUI 기반 소프트웨어를 통해 V+ (0 V ~ 30 V), V- (-30 V ~ 0 V)의 전압 범위, 0 Ω부터 10 Ω까지의 게이트 저항값, 최대 1 V/ns의 전압 상승률(dV/dt), 20% ~ 80% 범위의 듀티 사이클, 그리고 50 kHz 이상의 주파수로 구성되는 유연한 게이트 자극 조건을 제공하며, 불량 DUT 발생 시 개별 비활성화를 통해 다른 DUT에 영향을 주지 않는 구조를 갖추고 있다. 또한 최소 10초 간격의 Vth(up) 및 Vth(down) 자동 in-situ 게이트 임계 전압 측정과 DGS 측정 시 실시간 RDS(On) 측정을 지원한다. 동적 테스트 출력 스테이지는 최대 30V의 드레인 전압과 0Hz ~ 50kHz의 출력 주파수, 20% ~ 80%의 듀티 사이클을 지원하며, Drawer Type 구조를 채택하여 DUT 장착 및 분리 시 작업 접근성이 향상되어 있다. 본 시스템의 전원은 3P+N+PE, 400V, 50 Hz 규격으로 구동된다.