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장비정보

제작사
Hioki
모델 명
PQ3100 외 다수

내용연수
9년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 절연/누설/정전기측정시험장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-04-08

취득금액
154,385,000원
인증정보
CE
기능
본 시스템의 포함된 구성품으로 다음을 측정이
- 소음측정기능
- 순간 전류, 전압, 소비전력 및 고조파 측정기능
- 활선부 인체 접근 차단 확인을 위한 IP등급 측정
- 표면온도 측정 기능
- 반도체 제조장비의 전기회로 에 대한 절연저항, 내전압 시험기능
- 누설전류 시험기능
장비 상세설명
○ 구축 장비를 통해 아래와 같은 측정이 가능함

1. 소음측정
- 반도체 제조장비에서 발생되는 지속적인 소음으로 인한 청각적 피해를 방지하기 위하여 장비에서 발생하는 소음 수치에 따라 보호조치 적용 유무를 결정
2. 소비전력, 전류, 전압 특성 및 고조파 측정
- 반도체 제조장비를 운전하면서 사용되는 순간 전류, 전압, 소비전력 및 고조파 측정을 통한 제조사 설계기준 및 안전인증(SEMI, CE, NRTL 등) 기준에 대한 적합성 검증이 가능함
3. 활선부 IP등급 측정
- 전기 활선부의 사용, 유지보수 과정에서 발생할 수 있는 접촉으로 인한 감전사고를 방지하기 위하여 제어반 내부 활선 단자에 대한 IP등급 적합여부 검증이 가능함.
4. 고온 표면온도 측정
- 장비의 구동부품, 제어부품, 통신부품 등의 정상 동작상태에서 발생하는 고온표면으로 인한 인체 위험 및 화재위험성을 방지하기 위한 온도 측정이 가능함.
5. 절연저항, 내전압, 잔류전압, 접지연속성 시험
- 반도체 제조장비의 전기회로 에 대한 절연저항, 내전압에 대한 내성검증 수행이 가능하며, 잔류전압이 안전하게 방전되는 시간, 장비의 접지 적합성에 대한 검증이 가능함.
6. 누설전류시험
- 반도체 제조 장비의 정상작동과정에서 금속 프레임 표면으로 흐르는 누설전류의 양을 측정하여 인체에 유해한 전류량이 흐르지 않음에 대한 검증이 가능함.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
이동형
사용료 형태
일별

장비 사용료
[EA] 114,105원

장비설명

본 장비는 반도체 제조장비의 사용과정에서 인체에 영향을 주는 유해인자들을 검증하기 위한 장비로, 절연 내력, 소음, 고온 표면온도 등 전기회로에서 발생되는 부하에 대한 내성과 장비로부터 발생되는 유해인자가 인체에 무해함을 검증하기 위한 장비임.

장비 구성 및 성능

1. 소음측정기
- Sound Pressure Level Measurement spcification: IEC 61672-1 Class 1
2. 휴대용 전원 분석기
- Power Measurement line: 1-phase/2-wire, 1-phase/3-wire, 3-phase/3-wire, 3-phase/4-wire + CH 4
3. IP 프로브세트
- IP test : IEC61032 Test Probe A, B, C, D
4. 온도기록계
- Temperature Measurement Channel: 30 channel, Measurement Voltage: -100 V to 100 V
5. 오실로스코프+데이터로거
- Probe power: :4 output
- Isolation Module 10 MS/s 12 Bit : 2 channel 4 EA high noise immunity
6. 전류/전압 프로브
- Current Probe : 30 A probe, 150 A probe, 10:1 passive probe, 100:1 Passive probe, Differntial probe(100:1 & 10:1)
7. 다기능 멀티측정기
- Ground continuity test - Resistance: 0.01 Ω to 999 Ω
- Insulation test - Resistance: 1 ㏁ to 199.9 ㏁
- Voltage test - Voltage: 0 V to 5 ㎸, Current: 0 ㎃ to 100 ㎃
- Discharging time - Voltage: 60 V, 120 V, Time: 1s, 5s
8. 누설전류측정기
- Resistance: 1.5 ㏀
- Capacitor: 0.15 ㎌
9. 열화상카메라
- Temperature: -20 ℃ to 120 ℃, 0 ℃ to 650 ℃

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