(주) 이엘

MIL-STD-883,MIL-STD-750

본 장비는 MIL-STD-883, MIL-STD-750의 Screening Test 중 기밀성을 시험하는 장비이다.
해당 시료의 외부에 미세한 틈새가 존재하는지 확인하는 시험으로 다음의 순서에 따라 시험을 진행한다.

1. 가압: 시료를 가압용 챔버 내에 거치하고 헬륨을 인가하여 6 bar 까지 압력을 상승시킨다.
2. 감압 및 기밀성 확인: 가압된 시료를 가압용 챔버에서 꺼내 감압 및 기밀성 확인 챔버 내에 옮긴 후 터보펌프를 활용하여 진공도를 올리며 헬륨의 누설을 측정한다.

기밀성이 확보된 시료의 경우 가압시 헬륨이 들어갈 틈새가 없어 감압시 진공도가 형성된다.
기밀성이 확보되지 않은 시료의 경우 가압시 미세한 틈으로 들어간 헬륨이 새어나오며 진공도가 형성되지 않는다.

해당 시스템은 다음의 세부 구성품으로 하기의 설명과 같은 시험을 진행한다.

1. 가압용 챔버와 진공 펌프

- 가압 챔버 (He press. chamber): 2 set
- 진공 펌프 (건식 보조 펌프): Hiscroll 18 1 ea
- He 실린더 (47L)

최초에 시료를 적치한 후 다른 기체에 의한 영향을 배제하기 위해 진공펌프로 내부의 공기를 빼내고 준진공 상태로 만든다.
이후 가압용 챔버에 He를 인가하며 챔버 내의 압력을 상승시킨다. 일정 수준 (6 bar 이상)의 압력이 형성되면 30분 이상 압력을 유지하며 He이 기밀성이 불량한 시료의 틈 안으로 침투할 수 있도록 한다. 이후 Vent 하여 압력을 대기압과 일치시키고 시료를 꺼낸다.

2. 누출 감지 장비 및 테스트 챔버(감압)

- He leak detector (Main): ASM392 모델
- 테스트 챔버 (He test chamber): 2 set

가압된 시료를 He leak detector 와 연결된 테스트 챔버에 넣고 He leak detector 의 터보펌프로 진공형성을 시도한다. 기밀성 확보가 된 시료의 경우 진공이 형성되어 테스트를 통과할 수 있으며, 그렇지 아니한 경우 감압되며 누설되는 헬륨에 의해 진공도가 형성되지 않아 테스트를 통과할 수 없다. (이는 He leak detector 에 내재된 진공도 센서를 통해 확인할 수 있다.)


장비를 구성하는 핵심부품의 사양은 다음과 같다.

1. He leak detector (Main):
- 감지 가능 기체: ⁴He, ³He, He₂
- 최소 누출 감지 가능 누출률: 1E-12 mbar l/s (진공 누출 감지)
- 헬륨 펌프 속도: 25 l/s
- 배압 용량: 35 m³/h

2. 가압 챔버 (He press. chamber): 최대 6 bar 가압 가능