아이엠에스(주)

없음

- 다양한 기재(필름, 유리 등) 위에 금속, 산화물 박막 증착
- 전자기기용 전극(투명전극, 금속전극) 증착
- 반사방지, Low-E 등 기능성 필름 증착
- OLED 디스플레이, 반도체, 태양광, 건축용 유리, 자동차 등 다양한 산업분야 및 제품에 기능성 부여

- 전극 증착용 소형 스퍼터는 증착 공정이 이루어지는 공정 챔버, 증착 전‧후의 샘플을 공정 챔버에 투입 또는 반출할 수 있는 로드락 챔버, 챔버 진공 작업을 위한 진공 펌프, 캐소드 전원 인가 장치 등으로 구성됨.
- 기판 사이즈는 최대 100×100 ㎜까지 로딩 가능하며, 기판 사이즈에 따라 스퍼터 건 위치를 자유롭게 변경 가능함.
- 캐소드 전원 인가 장치는 DC 파워 서플라이 및 RF 제네레이터(매칭박스 포함)로 구성됨.
- 진공 펌프는 저진공 작업용 드라이 펌프와 고진공 작업용 터보 분자 펌프 조합으로 구성됨.
- 캐소드는 기존 2세트로 구성되며, 추후 필요시 2세트를 추가 설치할 수 있도록 설계함.
- 제어 시스템은 PC 기반임.