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장비정보

제작사
엔젯(주)
모델 명
EHDison-H16 Printer

내용연수
5년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프린팅장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2026-01-30

취득금액
148,500,000원
인증정보
없음
기능
본 장비는 전기수력학 기술을 기반으로 한 고점도 액체 토출 프린팅 시스템으로 기존 피에조 방식의 한계를 극복하는 기능을 수행합니다. 일반적인 프린팅 기술보다 훨씬 작은 크기의 액적 형성이 가능하여 미세한 패턴을 정밀하게 인쇄할 수 있으며, 1에서 200 cP 범위의 고점도 기능성 잉크를 안정적으로 토출할 수 있어 소재 선택의 폭이 넓습니다. 또한 오토 포커스 및 평탄도 보정 센서와 실시간 제팅 모니터링 비전 유닛을 통해 공정의 신뢰성을 확보하며, 최대 30kHz의 제팅 주파수와 70도까지의 헤드 가열 기능을 통해 다양한 실험 환경을 지원합니다.
장비 상세설명
EHDison-H16 Printer는 차세대 디스플레이 및 전자소자 제작을 위한 핵심 연구 장비로 우수한 하드웨어 성능을 보유하고 있습니다. 16개의 노즐을 가진 실리콘 멤스 기반 노즐 플레이트 헤드와 정밀 모션 유닛, 전압 증폭기 및 제어 PC로 구성되어 시스템의 완성도를 높였습니다. X축과 Y축에는 리니어 모터를 사용하여 5.0마이크로미터 이내의 위치 정확도와 3.0마이크로미터의 높은 반복 정밀도를 제공하며, 노즐 상태 확인을 위한 바텀 카메라와 패턴 확인용 탑 카메라 그리고 드롭 관찰용 드롭 와처 등 총 3종의 비전 유닛이 장착되어 정밀한 제어가 가능합니다. 기판 스테이지는 최대 200x200mm 영역의 진공 흡착과 50도 가열 기능을 갖추어 다양한 기판 실험 환경을 제공합니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 75,000원

장비설명

본 장비는 전기수력학 기술을 기반으로 한 고점도 액체 토출 프린팅 시스템으로 기존 피에조 방식의 한계를 극복하는 기능을 수행합니다. 일반적인 프린팅 기술보다 훨씬 작은 크기의 액적 형성이 가능하여 미세한 패턴을 정밀하게 인쇄할 수 있으며, 1에서 200 cP 범위의 고점도 기능성 잉크를 안정적으로 토출할 수 있어 소재 선택의 폭이 넓습니다. 또한 오토 포커스 및 평탄도 보정 센서와 실시간 제팅 모니터링 비전 유닛을 통해 공정의 신뢰성을 확보하며, 최대 30kHz의 제팅 주파수와 70도까지의 헤드 가열 기능을 통해 다양한 실험 환경을 지원합니다. 16개의 노즐을 가진 실리콘 멤스 기반 노즐 플레이트 헤드와 정밀 모션 유닛을 통해 5.0마이크로미터 이내의 위치 정확도와 3.0마이크로미터의 높은 반복 정밀도를 제공하여 차세대 디스플레이 및 전자소자 제작 연구에 최적화되어 있습니다.

장비 구성 및 성능

1. Printer Specification

1) Head부
- Viscosity Range: 1 ~ 200 cP(@25℃) 또는 동등 수준 이상.
- Drop Volume size: 10 pL
- Fluid Module Capacity: 10 mL
- Ink: Refillable
- Number of Nozzles: 16
- Resolution:　100 NPI
- Jetting Frequency: Up to 30kHz 또는 동등 수준 이상
- Heating Temperature: Up to 50℃

2) 장비 규격
- X Axis: Linear Motor(Stroke: 420mm)
- Y Axis: Linear Motor(Stroke: 360mm)
- Z Axis: Ball Screw(Stroke: 100mm)
- T Axis: Step Motor(Stroke: 360°, Max. Velocity: 15°/sec)
- Max Speed (Linear X, Y Axis):　200mm/s 또는 동등 수준 이상.
- Nozzle Vision(Bottom Camera)
　：6x Objective Lens with CAM (Mono, 1.5MP, PoCL / FOV: 830 x 620㎛)
- Pattern Vision(Top Camera)
　：6x Objective Lens with CAM (Mono, 1.5MP, PoCL / FOV: 830 x 620㎛)
- Drop Watcher:　8x Objective Lens with CAM (Mono, 1.5MP, FOV: 620 x 460㎛)
- Waveform Unit:　 Square Wave & Trapezoidal Waveform, etc.
- DC/DC Pulse HV Unit:　±2kV DC, DC Pulse or Constant DC CTRL
- Substrate Holding Unit:　Vacuum Pump (Manual On/Off)

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