대동하이텍

없음

가. 박막 증착 기능

금속, 금속산화물, 유기물 박막을 열 증착 방식으로 형성 가능

다양한 기판에 박막 증착 가능

나. 패턴 증착 기능

마스크 사용을 통해 다양한 패턴 형상의 박막 증착 가능

다. 글러브박스 일체형 공정

증착 장비가 글러브박스 외부와 일체형으로 구성

외부 노출 없이 연속 공정 수행 가능

라. 불활성 분위기 제어 기능

고진공 상태 유지

산소 농도 1 ppm 이하로 제어되는 환경에서 공정 수행 가능

산소·수분에 민감한 소재 공정에 적합

마. 공정 통합 운용 기능

전처리 → 증착 → 후처리 공정을 동일 시스템 내에서 연속 수행

공정 간 이동 최소화로 오염 방지 및 효율 향상

본 기기는 다양한 기판에 금속 금속산화물 유무기 박막을 형성하는데 사용됨
- 마스크의 사용을 통해 다양한 패턴으로 증착이 가능하고 글러브박스 와 일체형으로 구성하여 고진공 과 수분
및 산소가 이하로 제어된 환경내에서 전처리 과정 및 1ppm
증착 과정 후처리 과정을 동시에 진행함으로써 고효율 ,
소자 제작 및 다양한 공정 개발이 가능함