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장비정보

제작사
KLA
모델 명
Alpha-Step D-600

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
물리적측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-12-04

취득금액
81,335,000원
인증정보
없음
기능
● 시편의 자동 이송기능을 통하여 박막소재의 3차원 두께/구조 및 표면 조도 (roughness) 측정

● 스타일러스 타입으로 소재의 종류를 가리지 않고 사용이 가능하며 수 나노미터 단위로 정밀한 측정이 가능
장비 상세설명
● 소재 종류에 관계없이 나노미터 단위 두께측정이 가능

● 단순 두께측정 및 2차원/3차원 박막 형상 측정

● 양방향 연료전지 및 유전소재의 두께 및 조도를 측정해 인공 지능 모델의 학습데이터로 활용 예정

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 10,000원

장비설명

1. 시편의 자동 이송기능을 통하여 박막소재의 3차원 두께/구조 및 표면 조도 측정
2. 스타일러스 타입으로 소재의 종류를 가리지 않고 사용이 가능하며 수 나노미터 단위로 정밀한 측정이 가능

장비 구성 및 성능

● 측정거리: ≥30 mm
● 측정속도: ≥10 ~ ≤400 um/sec 조절 가능
● 측정 단차 수직 분해능: ≤ 0.38 Å
● 측정 수평 분해능: ≤ 0.1 um
● 최대 단차 측정 두께: ≥ 1200 um
● 탐침의 표면접촉 힘(force): ≥0.03 ~ ≤15 mg 조절 가능
● 반복 측정 재현성: ≤5 Å, 1σ@1 um 단차영역
● 자동 데이터 기울기 조정

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장비 매뉴얼