i-Tube

장비정보

제작사
(주)엘립소테크놀러지
모델 명
Elli-SE-UaM12

내용연수
9년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-12-10

취득금액
110,000,000원
인증정보
없음
기능
4~12인치 웨이퍼 로딩 및 n, k, 두께 맵핑 가능
맵핑 시간은 측정 포인트에 의존함 (유전체 박막 종류에 따라 다름)
측정시간의 문제로 가능하면 10mm 간격으로 측정하는 것으로 운영하고자 함. 더 좁은 간격 필요시 협의 가능.
10mm 측정간격 기준, 4, 6인치 웨이퍼 1시간 소요, 8인치 웨이퍼 1.5시간 소요 / 12인치 웨이퍼 3시간 소요 (샘플링 및 cal. 시간 포함)
장비 상세설명
최대 12인치 웨이퍼까지 엘립소메트리로 측정 및 맵핑이 가능한 장비
측정파장 220~1000 nm
두께 최소 0.5 nm ~ 최대 10um 까지의 유전체의 광학상수 n, k 및 두께 측정이 가능함
(측정가능 두께는 유전체 박막 종류에 의존)
4~12인치 웨이퍼 로딩 및 n, k, 두께 맵핑 가능
맵핑 시간은 측정 포인트에 의존함 (유전체 박막 종류에 따라 다름)
측정시간의 문제로 가능하면 10mm 간격으로 측정하는 것으로 운영하고자 함. 더 좁은 간격 필요시 협의 가능.
10mm 측정간격 기준, 4, 6인치 웨이퍼 1시간 소요, 8인치 웨이퍼 1.5시간 소요 / 12인치 웨이퍼 3시간 소요 (샘플링 및 cal. 시간 포함)
사용료 시간당 120,000원
담당자 이메일로 문의 시 분석 신청서 발송: seulgi11.kim@keti.re.kr

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 120,000원

장비설명

최대 12인치 웨이퍼까지 엘립소메트리로 측정 및 맵핑이 가능한 장비
측정파장 220~1000 nm
두께 최소 0.5 nm ~ 최대 10um 까지의 유전체의 광학상수 n, k 및 두께 측정이 가능함
(측정가능 두께는 유전체 박막 종류에 의존)
4~12인치 웨이퍼 로딩 및 n, k, 두께 맵핑 가능
맵핑 시간은 측정 포인트에 의존함 (유전체 박막 종류에 따라 다름)
측정시간의 문제로 가능하면 10mm 간격으로 측정하는 것으로 운영하고자 함. 더 좁은 간격 필요시 협의 가능.
10mm 측정간격 기준, 4, 6인치 웨이퍼 1시간 소요, 8인치 웨이퍼 1.5시간 소요 / 12인치 웨이퍼 3시간 소요 (샘플링 및 cal. 시간 포함)
사용료 시간당 120,000원
담당자 이메일로 문의 시 분석 신청서 발송: seulgi11.kim@keti.re.kr

장비 구성 및 성능

a. 측정 파장 영역: 220 nm ~ 1,000 nm
b. 측정 빔 사이즈:≦ 1.5 mm (1.5 mm X 3.8 mm)
c. 측정 항목: 박막 두께, 파장별 굴절률, 흡수계수 등
d. 측정 범위: sub Å ~ 10 μm (depends on film type)
e. 측정 가능 적층 수: Up to 10 layers (depends on film type)
f. 측정 속도: ~8 sec. per point
(depends on film type, 220nm~ 1,000nm)
g. 반복 재현성: 0.3 Å on 10 times measurement
(Standard Sample SiO2)
h. 12 Inch Auto mapping stage (2D, 3D R-θ Type automated,300mm)

e-Tube 로그인

장비 매뉴얼