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장비정보

제작사
CIQTEK
모델 명
SEM3200

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-11-24

취득금액
194,827,180원
인증정보
없음
기능
- 전자를 영상 신호로 변환하여 미세한 시료의 폭, 길이, 각도 등 나노급 수준의 작은 크기를 정밀하게 측정
- 최대 1,000,000배의 고배율 관찰 가능하여 챔부 내부 및 시료 표면 카메라가 동시에 탑재되어 있어 손쉽게 시료의 위치를 찾을 수 있음.
- 금속-비금속, 전자, 물리, 생물, 배터리, 반도체 등 다양한 재료 분석 이용
장비 상세설명
[주사전자현미경]
1. 분해능
- 3.0nm at 30kV, SE Image
- 7.0nm at 3kV, SE Iamage
- 4.0nm at 30kV, BSE Image
2. 배율
- x1 to x300,000배
- x1 to x1,000,000배
- 가속전압 : 200V ~ 30kV 또는 그 이상
- 빔 전류 : 최대 2uA 또는 그 이상

[에너지 분광분석기]
1. EDS 검출기
- 액체질소(LN2)를 사용하지 않는 SDD 타입
- 30mm2 사이즈의 디텍터 검출기
2. 소프트웨어 구성
- SEM 이미지 획득
- 스펙트럼 획득 (정성/정량 분석)
- 맵핑
- 라인스캔
- 화면의 빠른 보고서 버튼을 통해 콘텐츠 선택 가능
- 마이크로소프트 Word 형석으로 저장 가능

이용안내

사용형태
기관의뢰 직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
건별

장비 사용료
[EA] 15,000원

장비설명

주사전자현미경(SEM)과 에너지분광분석기(EDS)를 이용하여 소재의 미세구조 관찰과 표면 형상 분석, 원소 조성 및 분포를 정밀하게 측정하는 장비로, 금속/세라믹/폴리머 등 다양한 시편의 품질평가와 실패원인 분석에 활용된다.

장비 구성 및 성능

[주사전자현미경]
1. 분해능
- 3.0nm at 30kV, SE Image
- 7.0nm at 3kV, SE Iamage
- 4.0nm at 30kV, BSE Image
2. 배율
- x1 to x300,000배
- x1 to x1,000,000배
- 가속전압 : 200V ~ 30kV 또는 그 이상
- 빔 전류 : 최대 2uA 또는 그 이상

[에너지 분광분석기]
1. EDS 검출기
- 액체질소(LN2)를 사용하지 않는 SDD 타입
- 30mm2 사이즈의 디텍터 검출기
2. 소프트웨어 구성
- SEM 이미지 획득
- 스펙트럼 획득 (정성/정량 분석)
- 맵핑
- 라인스캔
- 화면의 빠른 보고서 버튼을 통해 콘텐츠 선택 가능
- 마이크로소프트 Word 형석으로 저장 가능

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