(1) 제어 가스: HCl, O2, N2
(2) MFC - HCl 용량(Full scale; F.S.): 100 sccm 또는 동등 성능 이상
(3) MFC - O2 용량(F.S.): 500 sccm 또는 동등 성능 이상
(4) MFC - N2 용량(F.S.): 5 slm 또는 동등 성능 이상
(5) 공정 가스의 안정적인 유동 확보
(6) Flange 특성: 내구성, 내화학성 및 고온 공정 환경에서 냉각 성능 유지
(7) 기상에피택시(HVPE) 장비 통신 시스템
B. 규격
(1) 기상 에피택시 가스 제어 시스템
1) Gas Control System
a. Flow Control Range: 2~100% of F.S. 또는 동등 성능 이상
b. Response Time: ≤ 2 sec (0% → 100%) 또는 동등 성능 이상
c. Accuracy: ≤ ±1 of F.S. 또는 동등 성능 이상
d. Linearity: ≤ ±1 of F.S. 또는 동등 성능 이상
e. Repeatability: ≤ ±0.2 of F.S. (0% → 100%) 또는 동등 성능 이상
f. Leak Integrity: ≤ 1×10-7 Pa∙m3/s (He) 또는 동등 성능 이상
g. Operating Temperature Range: 5~40℃ 또는 동등 성능 이상
2) Gas Terminal Flange
a. Materials: SUS316
b. Dimension (Gas Terminal Flange): Ø157×85L
c. Dimension (Primary/Secondary Flange): O.D Ø169, I.D Ø118×102L
d. Dimension (Loading Flange): Ø157×73L
3) Programmable Logic Controller (PLC)
a. 처리속도: 0.5 μs/step 또는 동등 성능 이상
b. 프로그램 메모리 용량: 7K step 또는 동등 성능 이상
c. 통신기능: RS-232
d. 최대 I/O 점수: 384점 또는 동등 성능 이상