1) Pressure Controller
a. Repeatability: ±0.1% of F.S. 또는 동등 성능 이상
b. Operating Temperature: 15℃~40℃ 또는 동등 성능 이상
c. Input Signal: 0~10 VDC 또는 동등 성능 이상
d. Output Signal: 0~10 VDC for Valve position 또는 동등 성능 이상
2) Baratron Gauge
a. Accuracy: ≤ 0.25% of Reading (1 Torr above) 또는 동등 성능 이상
b. Resolution: ≤ 0.001% of F.S. (1 Torr above) 또는 동등 성능 이상
c. Zero Temperature Coefficient: ≤ 0.015% of F.S./℃ (1 Torr above) 또는 동등 성능 이상
d. Span Temperature Coefficient: ≤ 0.04% of Reading/℃ 또는 동등 성능 이상
e. Operating Temperature: 15℃~50℃ 또는 동등 성능 이상
3) Vacuum Line
a. Product Standards (Angle Valve, Pipe): NW40 또는 동등 성능 이상
4) Operating Software
a. MOCVD process control program: TwinCAT3 통합제어 소프트웨어, 윈도우 기반 제어 프로그램 또는 동등 성능 이상