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장비정보

제작사
Smaract
모델 명
PICOSCALE

내용연수
10년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-12-12

취득금액
419,066,000원
인증정보
없음
기능
레이저 간섭계 기반으로 12개의 헤드를 기반으로 12점의 변위를 정밀 측정할 수 있는 측정기이며, 구성하고 있는 헤드는 초고진공환경에서도 설치가 가능하여 진공환경내에서의 변위를 직접 측정 가능한 계측기임
장비 상세설명
Miechelson 간섭계를 이용하여 빔스플리터를 통해 두 경로로 나뉜 빛이 대상물체와 기준거울에 반사된 뒤 다시 합쳐질 때 형성하는 간섭 무늬를 이용하여 미세한 거리 변화를 측정하는 방식을 채택한 변위 측정 센서임

주요 성능, 기능, 사양은 아래와 같음
성능 사양
- 최대 검출 가능 속도: 1m/s
- 샘플링 속도: 10MS/s (2.5MHz bandwidth)
- 동작 거리: up to 5,000mm
- 레이저 광원: Diode laser or HeNe HeNe laser
- 레이저 클래스: Class I or II
- 레이저 파장: 1,500~1,600nm
- 레이저 파장 정확도: ≤1ppm
- 채널 당 최대 출력 파워: ≥200μW
- 센서 정렬을 도와주기 위한 pilot laser 기능 보유
- 윈도우 GUI 및 Labview, Python, C 기반으로 SW 개발이 가능한 API/driver 제공
- 측정 분해능: ≤ 1pm
- 환경 보상 기능: 온도, 습도, 압력 등 환경 정보를 측정하여 환경에 의한 영향을 보정하고 보상해줄 수 있는 환경 정보 보상 기능 보유
- 12축 사용 시 환경정보를 모든 축에 동기화 할 수 있는 기능 보유
- 축 간 측정 동기화를 위한 기능 보유

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
이동형
사용료 형태
일별

장비 사용료
[Hr] 37,500원

장비설명

Miechelson 간섭계를 이용하여 빔스플리터를 통해 두 경로로 나뉜 빛이 대상물체와 기준거울에 반사된 뒤 다시 합쳐질 때 형성하는 간섭 무늬를 이용하여 미세한 거리 변화를 측정하는 방식을 채택한 변위 측정 센서임
초고진공 환경에서까지 설치하여 사용할 수 있는 장치이며, 12축을 연동해서 사용할 수 있는 간섭계 기반 정밀 변위 센서임

장비 구성 및 성능

가. 구성
- 거리 측정 방식 : Miechelson 간섭계를 이용한 변위 측정 방식
᛫ 방향성 확인 및 일정한 민감도 확보
᛫ 원형 또는 리사주 곡선 형성을 통해 위상 계산 가능
- 축 수: 12채널 (12채널 사용에 필요한 컨트롤러 및 부대장치 포함)

나. 성능 사양
- 최대 검출 가능 속도: 1m/s
- 샘플링 속도: 10MS/s (2.5MHz bandwidth)
- 동작 거리: up to 5,000mm
- 레이저 광원: Diode laser or HeNe HeNe laser
- 레이저 클래스: Class I or II
- 레이저 파장: 1,500~1,600nm
- 레이저 파장 정확도: ≤1ppm
- 채널 당 최대 출력 파워: ≥200μW
- 센서 정렬을 도와주기 위한 pilot laser 기능 보유
- 윈도우 GUI 및 Labview, Python, C 기반으로 SW 개발이 가능한 API/driver 제공
- 측정 분해능: ≤ 1pm
- 환경 보상 기능: 온도, 습도, 압력 등 환경 정보를 측정하여 환경에 의한 영향을 보정하고 보상해줄 수 있는 환경 정보 보상 기능 보유
- 12축 사용 시 환경정보를 모든 축에 동기화 할 수 있는 기능 보유
- 축 간 측정 동기화를 위한 기능 보유

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