KEYENCE
VHX-X1
10년
주장비
분석
광학/전자영상장비 > 현미경 > 광학현미경
공동활용서비스
2025-09-03
94,500,000원
없음
1) 고해상도 CMOS 기반의 미세 결함 관찰 기능
- 디스플레이 패널의 미세한 균열, 오염, 패턴 불량 등을 선명하게 확인 가능
- 모니터를 통한 실시간 영상 확인으로 즉각적 대응 및 직관적 분석 지원
2) 3차원 표면 형상 측정 기능
- 높낮이, 요철, 단차, 크랙 깊이 등 3D 형상을 정량적으로 측정
- 단순 2D 관찰을 넘는 정밀 고장 원인 규명 가능
3) 광범위 배율 확대 및 다양한 조명 모드 지원
- 수십 배~수천 배까지 자유롭게 확대 관찰
- 반사광, 투과광, 혼합광 등 다양한 조명 선택으로 기판·전극·보호막 특성 분석 가능
4) 전용 3D 분석 소프트웨어 기반의 고급 분석 기능
- 표면 거칠기(Roughness) 분석, 단차(Height) 분석, 자동 결함 인식 기능 제공
- 측정 데이터를 구조화하여 보고서 자동 생성 및 품질 관리 활용 가능
5) 비파괴 검사(NDI) 기반의 반복 관찰 가능
- 샘플 절단·손상 없이 원형 그대로 분석 가능
- 동일 시료를 여러 차례 관찰하여 열화·변화 과정을 추적 가능
6) 사용자 친화적 UI 및 자동 포커스 기능
- 자동 초점, 직관적 UI로 초보자도 쉽게 운영 가능
- 실시간 동영상 촬영 및 고해상도 이미지 캡처 기능 제공
7) 적용 대상의 폭넓은 확장성
- 디스플레이 패널뿐 아니라 반도체 웨이퍼, PCB, 박막 소재 등 전자·소재 전반 분석 가능
- 생산 공정 개선, 품질 보증, 연구개발 등 다양한 산업 분야에서 활용 가능
3D 디지털 현미경은 디스플레이 및 전자소재 분야에서 미세 결함과 표면 특성을 정밀하게 분석하기 위한 핵심 장비로 활용된다. 이 장비는 크랙, 기포, 오염 입자, 패턴 단선 등 디스플레이 패널의 미세 불량을 고배율로 확인하여 불량 발생 원인을 정확하게 규명하며, 제조 공정에서 발생하는 박막 코팅 불량, 전극 손상 등의 문제점을 정밀 분석해 개선 방향을 제시한다. 또한 3D 이미지를 실시간으로 구현해 표면의 요철, 단차, 깊이를 정량적으로 측정할 수 있어 복잡한 구조의 디스플레이 및 박막 소재 평가에 최적화되어 있다. 고해상도 CMOS 센서를 기반으로 나노 단위의 결함까지 확인할 수 있으며, 반사광, 투과광, 혼합광 등 다양한 조명 모드와 수십 배부터 수천 배까지의 확대 기능을 지원해 다양한 시료 특성에 맞춘 관찰이 가능하다. 비파괴 검사 방식으로 시료를 절단하거나 손상시키지 않고 그대로 분석할 수 있어 동일 시료의 변화 과정을 반복적으로 추적하는 데 유리하다. 또한 전용 3D 분석 소프트웨어와 연동되어 표면 거칠기, 단차, 자동 결함 인식 등 고급 분석 기능을 수행하며, 분석 데이터를 체계적으로 저장하고 보고서 형식으로 변환할 수 있다. 자동 포커스와 직관적인 UI를 갖추어 사용자 편의성을 높였으며, 이미지 캡처 및 동영상 촬영 기능을 통해 교육·품질관리·보고서 작성 시에도 활용도가 높다. 디스플레이 패널뿐 아니라 반도체 웨이퍼, PCB, 박막 소재 등 다양한 전자·소재 산업 분야에서 연구개발, 생산공정 개선, 품질 보증에 필수적인 장비로 활용된다.
직접사용
고정형
건별
[Hr] 97,000원
3D 디지털 현미경은 본 과제의 핵심 목표인 디스플레이 고장 원인 규명, 공정 최적화, 수율 향상을 위해 구축된 정밀 분석 장비로서, 고해상도 CMOS 센서와 정밀 광학계를 기반으로 디스플레이 패널 및 관련 소재의 미세 결함을 실시간으로 관찰하고 정량 분석할 수 있다. 장비는 획득한 영상을 지연 없이 모니터에 표시하며, 전용 3D 분석 소프트웨어와 연동해 표면의 요철, 단차, 크랙 깊이, 파티클 높이 등을 3D 지도 형태로 재구성한다. 광학 줌과 Z-축 스테이지를 결합하여 수십~수천 배까지 자동 초점 스캔이 가능하며, 포커스 스태킹과 스테레오 알고리즘을 적용해 다양한 높낮이 구조도 명확하게 측정할 수 있다. 반사광, 투과광, 저각광, 동축 조명, 편광 등 다양한 조명 모드를 지원하여 유리기판, 금속 전극, 봉지막, 필름 소재 등 다층 구조에서 발생하는 미세 결함을 정밀히 분리해내며, 비접촉·비파괴 방식으로 시편 손상 없이 반복 관찰이 가능해 신뢰성 시험 전후의 변화 추적에도 효과적이다. 소프트웨어는 거칠기(Ra/Rz), 단차, 균열 길이·폭·깊이, 면적·체적, 입자 크기·분포 등 주요 정보를 수치화하고 자동 결함 인식 및 통계 리포트를 제공하여 공정 피드백과 품질 문서 작성에 용이하다. 자동 포커스, 자동 노출, 원클릭 측정, XY 내비게이션, 마커·주석 기능 등 사용자 친화적 UI는 현장 엔지니어의 즉시 활용을 가능하게 하며, 이미지·동영상·CSV·3D 파일(STL/OBJ) 저장 기능은 품질 이력 관리와 연구자료 공유를 지원한다. 이 장비는 타임랩스 촬영, 배치 측정, 열·자외선 조사 중 변화 감지 등 고급 기능도 제공하여 공정 변동성 분석의 정확도를 높인다. 최종적으로 본 장비는 초기 불량 규명부터 수율 향상, 클레임 대응까지 디스플레이 제조 전 과정에서 빠르고 정밀한 의사결정을 지원하는 필수 분석 플랫폼으로, 과제 목적을 효과적으로 달성하기 위해 도입된 핵심 기반 장비이다.
3D 디지털 현미경 VHX-X1(Serial No. 5B0S000396) 은 디스플레이 및 전자부품의 표면 관찰과 미세 결함 분석을 위해 구성된 장비이다. 27인치 4K 모니터와 전용 컨트롤러를 포함하며, 촬영 영상과 측정 데이터를 실시간으로 표시한다. 장비의 CMOS 카메라는 1,222만 화소의 센서를 사용하여 미세 크랙, 패턴 단선, 박막 경계 등 세부 형상을 고해상도로 촬영할 수 있다. 렌즈는 최소 60배에서 최대 6,000배까지 확대가 가능하며, 다양한 재질과 구조의 시편을 단계적으로 관찰하는 데 적합하다. 프리앵글 전동 스탠드는 최대 5kg까지 적재할 수 있고, 각도 조절과 Z축 이동을 지원하여 시편의 고정과 위치 조절을 안정적으로 수행한다.
장비에는 3D Analysis Suite, Focus Fusion Pro, Surface Navigator 프로그램이 포함되어 있다. 3D Analysis Suite는 기울기 보정, 높이 측정, 단차 분석 등의 3D 정량 분석을 지원하고, Focus Fusion Pro는 심도 합성 기능을 제공하여 비평탄 시편도 전체 영역을 또렷하게 촬영한다. Surface Navigator는 관찰 위치 추적과 북마크 기능을 통해 시편 내 특정 위치를 반복적으로 확인할 수 있다. 소프트웨어는 이미지·동영상·CSV·3D 파일(STL/OBJ) 형태의 데이터 저장을 지원한다.
콘솔을 통해 배율 변경, 조명 조절, 자동 포커스, 노출 설정, 측정 기능 등을 통합적으로 제어할 수 있다. 전체 구성은 시편 관찰, 표면 형상 분석, 단차 및 구조 측정을 기본적으로 지원하며, 디스플레이 패널, PCB, 웨이퍼 등 다양한 전자부품의 표면 상태 확인과 데이터 기록에 활용된다.